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02 Nanofabrication

02 Nanofabrication
02.1 Plateforme technologique de structuration des matériaux pour l'électronique
02.2 Plateforme STnano

liste des équipements de la plateforme technologique de structuration des matériaux pour l'électronique

02.1 Ellipsomètre GAERTNER model L117

InESS

23, rue du Lœss, BP 20, 67037 Strasbourg Cedex 2

02.1 Évaporateur "2JPM" (fabrication InESS)

InESS

23, rue du Lœss 67037 Strasbourg Cedex 2

02.1 Évaporateur "JK2S"

InESS

23, rue du Lœss 67037 Strasbourg Cedex 2

02.1 Évaporateur Airco de type Temescal

InESS

23, rue du Lœss 67037 Strasbourg Cedex 2

02.1 Évaporateur Edwards de type Auto 306

InESS

23, rue du Lœss 67037 Strasbourg Cedex 2

02.1 Évaporateur « or/aluminium »

InESS

23, rue du Lœss 67037 Strasbourg Cedex 2

02.1 four JIPELEC de type RTP FAV4

InESS

23, rue du Lœss 67037 Strasbourg Cedex 2

02.1 Four OMEGA

InESS

23, rue du Lœss 67037 Strasbourg Cedex 2

02.1 Four TEMPRESS

InESS

23, rue du Lœss 67037 Strasbourg Cedex 2

02.1 Karl SUSS de type MJB-21

InESS

23, rue du Lœss 67037 Strasbourg Cedex 2

02.1 Karl SUSS de type MJB-3/HP

InESS

23, rue du Lœss 67037 Strasbourg Cedex 2

02.1 Karl SUSS de type RC 8 GYRSET

InESS

23, rue du Lœss 67037 Strasbourg Cedex 2

02.1 Réacteur ROTH & RAU de type MycroSys 400 PECVD System

InESS

23, rue du Lœss, BP 20, 67037 Strasbourg Cedex 2

02.1 Sérigraphieuse semi-automatique AUREL de type C1010B

InESS

23, rue du Lœss 67037 Strasbourg Cedex 2

02.1 TALYSTEP, Marque : RANK Precision Industrie LTD

InESS

23, rue du Lœss 67037 Strasbourg Cedex 2

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liste des équipements de la plateforme STnano

02.2 Aligneur de masque MJB4 (SUSS MICROTEC)

LIPHT

25, rue Becquerel 67087 Strasbourg

02.2 Aligneur de masques SUSS MICROTEC MJB3

IPCMS

23, rue du Lœss, Strasbourg

02.2 AxioImager

IPCMS

23, rue du Lœss, Strasbourg

02.2 Bonder HYBOND modèle 626

LIPHT

25, rue Becquerel 67087 Strasbourg

02.2 Dektak

IPCMS

23, rue du Lœss, Strasbourg

02.2 eLitho

IPCMS

23, rue du Lœss, Strasbourg

02.2 Etuve Memmert

LIPHT

25, rue Becquerel 67087 Strasbourg

02.2 Evaporateur AUTO306 (Edwards)

LIPHT

25, rue Becquerel 67087 Strasbourg

02.2 Evaporateur MEB 550 S (Plassys)

LIPHT

25, rue Becquerel 67087 Strasbourg

02.2 Manual prober PM8 (KARL SUSS)

LIPHT

25, rue Becquerel 67087 Strasbourg

02.2 Microscope optique Leitz

LIPHT

25, rue Becquerel 67087 Strasbourg

02.2 Microsoudeuse

IPCMS

23, rue du Lœss, Strasbourg

02.2 Spin coater SCS G3-P

LIPHT

25, rue Becquerel 67087 Strasbourg

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