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Ellipsomètre GAERTNER model L117
02.1 Ellipsomètre GAERTNER model L117
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Fiche d'identité de l'équipement |
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Thématiques abordées :
Mesures : épaisseur et indice de monocouches antireflets non absorbantes (SixNy, SixOyNz, SiOx), application pour le photovoltaïque
Caractéristiques techniques :
Ellipsomètre mono-longueur d’onde λ = 632,8 nm
• goniomètres manuels (polariseur et analyseur)
• angle d’incidence = 70°
• Substrat : Si ou Ge
Laboratoire : InESS
Localisation : 23, rue du Lœss, BP 20, 67037 Strasbourg Cedex 2
Nom du correspondant : Stéphane ROQUES
Coordonnées du correspondant :
Téléphone : 03 88 10 68 84
Mail : stephane.roques@iness.c-strasbourg.fr
Site web : www-iness.c-strasbourg.fr


