02.1 Ellipsomètre GAERTNER model L117

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Fiche d'identité de l'équipement

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Thématiques abordées :

Mesures : épaisseur et indice de monocouches antireflets non absorbantes (SixNy, SixOyNz, SiOx), application pour le photovoltaïque

Caractéristiques techniques :
Ellipsomètre mono-longueur d’onde λ = 632,8 nm
• goniomètres manuels (polariseur et analyseur)
• angle d’incidence = 70°
• Substrat : Si ou Ge

Laboratoire : InESS

Localisation : 23, rue du Lœss, BP 20, 67037 Strasbourg Cedex 2

Nom du correspondant : Stéphane ROQUES

Coordonnées du correspondant :
Téléphone : 03 88 10 68 84

Mail : stephane.roques@iness.c-strasbourg.fr

Site web : www-iness.c-strasbourg.fr