Thématiques abordées :

la métallisation (par exemple pour les cellules photovoltaïques et les détecteurs)
le dépôt d'électrodes pour les matériaux à caractériser
le dépôt de couches minces réfractaires


Caractéristiques techniques :
Évaporateurs à canon à électrons
- Source : 4 creusets pour des matériaux de haute pureté (Ge, In, Al et autres sur demande)
- Épaisseur du dépôt : 5 à 2000 nm avec une précision de ± 10%
- Taille maximale du substrat : 1,5 pouce
- Vide avant le dépôt : jusqu'à 2•10-7 mbar
- Vide pendant le dépôt : 3-7•10-5mbar
- possibilité de refroidir (à 10°C) ou de chauffer (jusqu'à 350°C) les échantillons

Laboratoire : InESS

Localisation : 23, rue du Lœss 67037 Strasbourg Cedex 2

Nom du correspondant : Stéphane ROQUES

Coordonnées du correspondant :
Téléphone : 03 88 10 68 84

Mail : stephane.roques@iness.c-strasbourg.fr

Site web : www-iness.c-strasbourg.fr