Thématiques abordées :

a métallisation (par exemple pour les cellules photovoltaïques et les détecteurs)

le dépôt d'électrodes pour les matériaux à caractériser

Caractéristiques techniques :
Évaporateurs à canon à électrons
- Source : 4 creusets pour des matériaux de pureté supérieure à 4N (Al, Ti, Ag et Pd)
- Épaisseur du dépôt : 5 à 2000 nm avec une précision de ± 10%
- Taille maximale du substrat : 10 pouces avec un système planétaire de fixation
- Vide avant le dépôt : jusqu'à 2•10-7 mbar
- Vide pendant le dépôt : 5•10-5 à 10-6 mbar
- échantillon reste à température ambiante pendant le dépôt

Laboratoire : InESS

Localisation : 23, rue du Lœss 67037 Strasbourg Cedex 2

Nom du correspondant : Stéphane ROQUES

Coordonnées du correspondant :
Téléphone : 03 88 10 68 84

Mail : stephane.roques@iness.c-strasbourg.fr

Site web : www-iness.c-strasbourg.fr