02.1 Évaporateur Edwards de type Auto 306

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Fiche d'identité de l'équipement

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Thématiques abordées :

la métallisation (par exemple pour les cellules photovoltaïques et les détecteurs)
le dépôt d'électrodes pour les matériaux à caractériser

Caractéristiques techniques :
Évaporateurs à effet joule
- Source : différents types de matériaux de haute pureté (Al, Ge, In, Pd et autres sur demande)
- Épaisseur du dépôt : 5 à 150 nm
- Taille maximale du substrat : 1 pouce
- Vide avant le dépôt : jusqu'à 10-7 mbar
- Vide pendant le dépôt : 2-6•10-6 mbar

Laboratoire : InESS

Localisation : 23, rue du Lœss 67037 Strasbourg Cedex 2

Nom du correspondant : Stéphane ROQUES

Coordonnées du correspondant :
Téléphone : 03 88 10 68 84

Mail : stephane.roques@iness.c-strasbourg.fr

Site web : www-iness.c-strasbourg.fr