Thématiques abordées :

la métallisation (par exemple pour les cellules photovoltaïques et les détecteurs)
le dépôt d'électrodes pour les matériaux à caractériser
le dépôt de couches minces réfractaires

Caractéristiques techniques :
Évaporateurs à canon à électrons
- Source : 3 creusets pour tout type de matériaux, y compris les matériaux réfractaires
- Épaisseur du dépôt : 5 à 500 nm
- Taille maximale du substrat : 4 pouces
- Vide avant le dépôt : jusqu'à 10-7 mbar
- Vide pendant le dépôt : 2-6•10-5mbar

Laboratoire : InESS

Localisation : 23, rue du Lœss 67037 Strasbourg Cedex 2

Nom du correspondant : Stéphane ROQUES

Coordonnées du correspondant :
Téléphone : 03 88 10 68 84

Mail : stephane.roques@iness.c-strasbourg.fr

Site web : www-iness.c-strasbourg.fr