Thématiques abordées :

la métallisation (par exemple pour les cellules photovoltaïques et les détecteurs)
le dépôt d'électrodes pour les matériaux à caractériser

Caractéristiques techniques :
Évaporateurs à effet joule
- Source : 2 creusets pour Au et Al
- Épaisseur du dépôt : 5 à 150 nm
- Taille maximale du substrat : 3 pouces
- Vide avant le dépôt : jusqu'à 10-7 mbar
- Vide pendant le dépôt : 5•10-4 à 10-6 mbar
- Porte-échantillon : permet des dépôts en face avant et arrière sans rupture du vide

Laboratoire : InESS

Localisation : 23, rue du Lœss 67037 Strasbourg Cedex 2

Nom du correspondant : Stéphane ROQUES

Coordonnées du correspondant :
Téléphone : 03 88 10 68 84

Mail : stephane.roques@iness.c-strasbourg.fr

Site web : www-iness.c-strasbourg.fr