Thématiques abordées :

la diffusion d'émetteurs pour les cellules photovoltaïques
l'oxydation de surface (RTO pour "Rapid Thermal Oxydation")
le recuit de couches (SixNy, oxynitrure, SiO2 ...)
la croissance de nanocristaux dans une matrice

Caractéristiques techniques :
Fours de recuit rapide de la salle blanche
• Taille maximale des échantillons : 4 pouces de diamètre ou 7 cm de côté
• Chauffage : 12 lampes halogènes à tungstène de 1200 W
• Gamme de températures : de la température ambiante à 1000°C
• Vitesse de montée en température : 0,01°C/s à 200°C/s
• Vitesse de descente en température : 350°C/s
• Programmation : possibilité de programmer plusieurs étapes
• Recuit : sous atmosphère contrôlée (Ar, N2 ou O2)

Laboratoire : InESS

Localisation : 23, rue du Lœss 67037 Strasbourg Cedex 2

Nom du correspondant : Stéphane ROQUES

Coordonnées du correspondant :
Téléphone : 03 88 10 68 84

Mail : stephane.roques@iness.c-strasbourg.fr

Site web : www-iness.c-strasbourg.fr