Thématiques abordées :

diffusion de pâtes dopantes
le recuit de couches (SixNy, oxynitrure, SiO2 ...)
la croissance de nanocristaux dans une matrice

Caractéristiques techniques :
Four de recuit de la salle blanche
• Diamètre intérieur du tube : 88 ou 100 mm
• Chauffage : 3 zones
• Nombre de tubes : 3
• Gamme de températures : 450°C à 1050°C
• Recuit : sous atmosphère contrôlée (Ar, N2 ou mélange 95% Ar + 5% H2)

Laboratoire : InESS

Localisation : 23, rue du Lœss 67037 Strasbourg Cedex 2

Nom du correspondant : Stéphane ROQUES

Coordonnées du correspondant :
Téléphone : 03 88 10 68 84

Mail : stephane.roques@iness.c-strasbourg.fr

Site web : www-iness.c-strasbourg.fr