Thématiques abordées :

Résines photosensibles (UV) pour le masquage d’échantillons avant :
une implantation ionique
une gravure humide
une gravure ionique
le dépôt de contacts métalliques

Caractéristiques techniques :
Aligneur simple face
• Taille maximale des échantillons : 3 pouces de diamètre ou 5 cm de côté
• Résolution : 3-5 µm
• Rayonnement UV : 350 à 450 nm (lampe à vapeur de mercure)
• Intensité lumineuse maximale : 10 mW/cm2
• Durée de l'insolation : supérieure à 0,1 s

Laboratoire : InESS

Localisation : 23, rue du Lœss 67037 Strasbourg Cedex 2

Nom du correspondant : Stéphane ROQUES

Coordonnées du correspondant :
Téléphone : 03 88 10 68 84

Mail : stephane.roques@iness.c-strasbourg.fr

Site web : www-iness.c-strasbourg.fr