09.1 Microscope interférométrique à balayage

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Fiche d'identité de l'équipement

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Thématiques abordées :

Développement de nouvelle instrumentation optique pour l'analyse de morphologie et de structure de surfaces microscopiques, la mesure de grande rugosité (<100 µm), la microscopie 4D (3D + t) de surfaces en mouvement, l'analyse de couches épaisses semi-translucides

L'analyse de surfaces difficiles à caractériser comme la grande rugosité, les surfaces inhomogènes, les MEMS et les couches épaisses semi-translucides

Caractéristiques techniques :

Système de mesure de rugosité 3D de surface par la microscopie interférométrique avec différentes types d'objectifs interférentiels (x5 à x50), de caméras d'acquisitions et de logiciels de mesure et de traitement de données pour les champs de 100 µm à 2,2 mm et les rugosités du nm à 100 µm.

Laboratoire : InESS

Localisation : 23, rue du Lœss 67037 Strasbourg Cedex 2

Nom du correspondant : Paul Montgomery

Coordonnées du correspondant :
Téléphone : 03 88 10 62 31

Mail : paul.montgomery@iness.c-strasbourg

Site web : www-iness.c-strasbourg.fr