Thématiques abordées :

Mesures de l’épaisseur de films
Caractérisation de couches minces 

Caractéristiques techniques : 
- Débit 1,5 L/min
- Résistivité 18,2 MΩ.cm (conductivité 0,056 S/cm)
- Particules ≤ 1/mL
- Carbone organique total (COT) 1-5 ppb
- Micro-organismes < 1 U.F.C./ml

Laboratoire : ICS

Localisation : 23, rue du Loess, Strasbourg

Nom du correspondant : Olivier FELIX

Coordonnées du correspondant :
Téléphone : 03.88.41.40.67
Mail : felix@ics.u-strasbg.fr

Site web : www-ics.u-strasbg.fr