Thématiques abordées :

Semi-conducteurs, recuit laser
Recuit laser

Caractéristiques techniques :
Laser excimère pour recuit avec homogeneiseur de faisceau.

Laboratoire : InESS

Localisation : 23, rue du Lœss 67037 Strasbourg Cedex 2

Nom du correspondant : Frederic Antoni

Coordonnées du correspondant :
Téléphone : 03 88 10 65 56

Mail : frederic.antoni@iness.c-strasbourg.fr

Site web : www-iness.c-strasbourg.fr