Thématiques abordées :

Mesures d’épaisseur de couches non ductiles (ex : SixNy, SiOx, SixOyNz, etc.)

Caractéristiques techniques :
Profilomètre mécanique TALYSTEP
• Charge de contact réglable : 1 à 30 mg
• Pointe du palpeur : rayon conique de 0.0125 mm
• Longueur de course : 1 mm
• Gamme d’épaisseur : 20 nm à 4 µm

Laboratoire : InESS

Localisation : 23, rue du Lœss 67037 Strasbourg Cedex 2

Nom du correspondant : Stéphane ROQUES

Coordonnées du correspondant :
Téléphone : 03 88 10 68 84

Mail : stephane.roques@iness.c-strasbourg.fr

Site web : www-iness.c-strasbourg.fr